UMS 3623 - Centre de MicroCaractérisation Raimond Castaing



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MEB FEG JEOL JSM 7100F TTLS LV - EDS/EBSD

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Contacts

Claudie Josse , Stephane Le Blond du Plouy , Arnaud Proietti

Présentation

Le JSM-7100TTLS LV est un microscope électronique à balayage qui possède toutes les performances haute résolution d’un microscope à effet de champ (FEG) avec en plus, la possibilité d’observer des échantillons non conducteurs en pression contrôlée jusqu’à 300Pa.

Tous les échantillons non conducteurs sont observés et analysés sans préparation d’échantillon préalable avec un ensemble de détecteurs : EDS, électrons rétrodiffusés (BSE), EBSD etc. Le mode LV est complètement automatisé.

Outre sa très bonne résolution (1.2nm à 125kV) en imagerie, ce microscope est particulièrement adaptè à l’analyse chimique et cristallographique grâce à son fort courant de sonde (jusqu’à 600nA).
Il est équipé d’un spectromètre EDS SDD couplé à un système EBSD HKL.

Caractéristiques Techniques

  • Source à émission de champ type Schottky
  • Résolutions : 2nm à 1kV - 1.6nm à 5kV - 1.2nm à 15kV
  • Courant de sonde de 1pA à 600nA
  • Mesure de courant intégré
  • Détecteur d’électrons secondaires type Everhart-Thornley
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés aux faibles angles (SRBEI)
  • Détecteur d’électrons secondaires en mode Low Vaccum
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés en mode Low Vaccum
  • Détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés in-lens
  • Système de nettoyage intégré (plasma cleaner GV10x ASHER de IBSS)
  • Détecteur EDS SDD X-Max 80mm2 Oxford Instruments AZtecEnergy
  • Détecteur EBSD AZtec HKL Advanced Nordlys Nano équipé de 4 détecteurs FSD couplé à l’EDS
  • Date d’acquisition : janvier 2014

Planning de réservation

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Equipement : MEB FEG JEOL JSM 7100F TTLS LV - EDS/EBSD

La réservation est ouverte jusqu'au 14 12 2019 ; les jours de réservation sont les Lundi, Mardi, Mercredi, Jeudi, Vendredi .

septembre 2019 octobre 2019 novembre 2019 décembre 2019
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Legende : créneaux disponibles, ouverts aux inscriptions créneaux disponibles affichés ci dessous

- - Lundi 16 septembre Mardi 17 septembre Mercredi 18 septembre Jeudi 19 septembre Vendredi 20 septembre
9h-12h9h-12h
14h-17h14h-17h

Légende :
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occupé
fermeture