UMS 3623 - Centre de MicroCaractérisation Raimond Castaing



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Microsonde Electronique CAMECA SXFive FE

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Contacts

Philippe De Parseval , Sophie Gouy

Présentation

La microsonde Cameca SXFiveFE est une microsonde électronique à émission de champ, dernière génération de microsonde de la Société Cameca basée à Gennevilliers. Elle permet de réaliser des analyses quantitatives de particules submicroniques pour les éléments allant du Be à l’U soit la quasi-totalité de la classification périodique avec des limites de détection de l’ordre de 0,01%.

L’intérêt principal de cet équipement réside dans la possibilité de faire des analyses quantitatives pour des volumes inférieur au µm3. A titre de comparaison, le diamètre de faisceau est 4 à 6 fois plus petit qu’avec la microsonde tungstène.

graph beamsize fonction beam intensity

Les applications sont variées et concernent des domaines dont une liste non exhaustive est présentée ci-dessous :

  • les Sciences de la Terre : Minéralogie, Pétrologie, Géochimie, ... ;
  • les Sciences des Matériaux : couches minces, supraconducteurs, composites, semi-conducteurs, bétons, verres, céramiques, ... ;
  • la Métallurgie ;
  • la Médecine : Ostéologie, Pneumologie, Odontologie, ... ;
  • l’Archéologie : Numismatique, terres cuites, tessons, ...

La microsonde FEG SXFive FE du Centre Raimand Castaing est la première microsonde de la société Cameca avec cette technologie innovante installée en France.

Date d’installation : juin 2014

Caractéristiques techniques

  • Colonne avec une source FEG (Field Emission Gun) à cathode chaude
  • Tension d’accélération de 1 à 30 kV
  • Diamètre de faisceau en mode analytique : 70 nm @ 10 kV, 10 nA ; 130 @10kV 100nA
  • Courant du faisceau maximum : jusqu’à 500 nA
  • Régulation du courant : ± 0.5% par heure à 20keV, 20nA
  • 5 spectromètres WDS avec des cristaux spécifiques pour les éléments légers ( B, C, N,O)
  • Détecteur d’électrons secondaires "multiguide" (marque déposée)
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés à 6 diodes
  • Stabilisateur du courant de la sonde de 0,5 nA à 300 nA
  • Système de visualisation optique (lumière transmise, réfléchie, polarisée)
  • Sas d’introduction pour les échantillons
  • Détecteur compact EDS SDD Bruker XFlash 6010 10mm2

Planning de réservation

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Equipement : Microsonde Electronique CAMECA SXFive FE

La réservation est ouverte jusqu'au 24 07 2019 ; les jours de réservation sont les Lundi, Mardi, Mercredi, Jeudi, Vendredi .

avril 2019 mai 2019 juin 2019 juillet 2019
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Legende : créneaux disponibles, ouverts aux inscriptions créneaux disponibles affichés ci dessous

- Jeudi 25 avril Vendredi 26 avril - Lundi 29 avril Mardi 30 avril Jeudi 02 mai
9h-12h 9h-12h
14h-17h 14h-17h
17h-nuit 17h-nuit

Légende :
libre
occupé
fermeture