UMS 3623 - Centre de MicroCaractérisation Raimond Castaing



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MEB/FIB FEI HELIOS 600i - EDS

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Contacts

Claudie Josse

Présentation

L’Helios 600i (FEI) est un microscope à double faisceau combinant un canon à électron à émission de champ (FEG) et une colonne ionique à ions gallium pouvant débiter jusqu’à 65 nA de courant. Il équipé d’un spectromètre EDS-3D permettant de réaliser des cartographies d’élements chimiques en trois dimensions, d’un nanomanipulateur FEI EasyLift, d’un canon à neutralisation de charge pour les échantillons isolants, d’un plasma cleaner intégré, de 5 injecteurs de gaz et de 4 détecteurs électroniques et ioniques.

Avec ce nouveau microscope à double faisceau, il est possible d’observer la matière, de l’usiner et de créer des structures à l’échelle nanométrique.
Cet équipement permet également de préparer des lames minces pour la microscopie en transmission avec une précision et une rapidité accrues.
Grâce au logiciel de reconstructions 3D (Auto Slice and View) et à l’analyseur EDS/SDD-3D, il est possible de visualiser la matière en 3 dimensions.

Caractéristiques Techniques

  • Colonne ionique Tomahawh
  • Colonne électronique Elstar Haute résolution (FEG Schottky)
  • Détecteur d’électrons secondaires TLD (Through the Lens)
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés TLD-B
  • Détecteur d’électrons secondaires Everhart Thornley
  • Détecteur ICE (d’ions et d’électrons secondaires)
  • Nanomanipulateur FEI EasyLift
  • Injecteur de gaz pour dépôt de platine
  • Neutraliseur de charges
  • Plasma Cleaner intégré
  • CryoCleaner
  • Analyseur EDX Aztec Advanced (Oxford Instruments) avec détecteur SDD X-Max 80mm2 et module 3D
  • Logiciel de reconstruction 3D Auto Slice-and-View G3
  • Date d’acquisition : 2014

Planning de réservation

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Equipement : MEB/FIB FEI HELIOS 600i - EDS

La réservation est ouverte jusqu'au 27 04 2020 ; les jours de réservation sont les Lundi, Mardi, Mercredi, Jeudi, Vendredi .

janvier 2020 février 2020 mars 2020 avril 2020
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Legende : créneaux disponibles, ouverts aux inscriptions créneaux disponibles affichés ci dessous

- Mardi 28 janvier Mercredi 29 janvier Jeudi 30 janvier Vendredi 31 janvier - Lundi 03 février
9h-12h 9h-12h
14h-17h 14h-17h

Légende :
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occupé
fermeture