UMS 3623 - Centre de MicroCaractérisation Raimond Castaing



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MEB-FEG JEOL JSM 7800F Prime - EDS

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Contacts

Claudie Josse , Stephane Le Blond du Plouy

Présentation

Le JSM-7800F Prime est un microscope électronique à balayage à émission de champ (FEG) haut de gamme qui permet d’atteindre la résolution sub-nanométriques à toutes les tensions d’accélération mais également de grandes capacités analytiques (jusqu’à 600nA de courant).

Il est particulièrement destiné à l’observation d’objets à très haute résolution (0.8nm). A faible tension d’accélération, l’observation de matériaux isolants sans métallisation préalable est également possible (mode décélération d’électrons, piège à électrons dans la colonne, acquisition des images en mode balayage alternatif...).

Il est équipé d’un spectromètre EDS SDD, d’un plasma cleaner et des nombreux détecteurs (SEI et BEI dans la chambre et dans la colonne).

Caractéristiques Techniques

  • Source à émission de champ type Schottky
  • Résolutions : 0.8nm (de 1kV à 30kV) - 1.2nm à 200V
  • Courant de sonde de 1pA à 600nA en continu
  • Mesure de courant intégré
  • Détecteur d’électrons secondaires type Everhart-Thornley
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés aux faibles angles (SRBEI)
  • Détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés in-lens
  • Observation possible des échantillons isolants sans métallisation préalable (mode décélération d’électrons, piège à électrons dans la colonne, acquisition des images avec le mode de balayage alternatif...)
  • Système de nettoyage intégré (plasma cleaner GV10x ASHER de IBSS)
  • Détecteur EDS SDD X-Max 80mm2 Oxford Instruments AZtecEnergy
  • Date d’acquisition : 2014

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Equipement : MEB-FEG JEOL JSM 7800F Prime - EDS

La réservation est ouverte jusqu'au 14 12 2019 ; les jours de réservation sont les Lundi, Mardi, Mercredi, Jeudi, Vendredi .

septembre 2019 octobre 2019 novembre 2019 décembre 2019
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Legende : créneaux disponibles, ouverts aux inscriptions créneaux disponibles affichés ci dessous

- - Lundi 16 septembre Mardi 17 septembre Mercredi 18 septembre Jeudi 19 septembre Vendredi 20 septembre
9h-12h9h-12h
14h-17h14h-17h

Légende :
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