UMS 3623 - Centre de MicroCaractérisation Raimond Castaing



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Spectromètre de Masse d’Ions Secondaires (SIMS)

La spectrométrie de masse des ions secondaires est une méthode d’analyse physico-chimique, élémentaire et moléculaire, de la surface et de la composition interne des matériaux solides.

SIMS CAMECA IMS 4FE6 Les domaines d’application sont divers :

- Micro-électronique : dopants dans les semi-conducteurs, dosage d’impuretés, etc....

- Matériaux : analyse de couches minces, de multicouches, analyse de répartition de phases en 2D et 3D ; corrosion, analyse des élements traces, diffusion. etc....

- Géologie : mesure isotopique et analyse de traces dans les minéraux. etc....

- Biologie : image de répartition d’éléments dans les cellules, évolution de médicaments dans les tissus. etc...

L’analyseur ionique CAMECA IMS 4FE6 a déménagé du département de Physique de l’INSA de Toulouse vers le centre de microcaractérisation R. Castaing.