Centre Castaing - UAR3623

Présentation

La spectrométrie de masse des ions secondaires (SIMS) est une méthode d’analyse physico-chimique, élementaire et moléculaire, de la surface et de la composition interne des matériaux solides.
Elle permet :

• l’analyse de tous les éléments de la table périodique,
• l’analyse en trois dimensions avec une résolution latérale de 0,2µm et une résolution en profondeur de 2nm,
• l’analyse quantitative avec standards,
• limites de détection : de quelques ppm à < 0,1 ppb

Caractéristiques Techniques

Le SIMS CAMECA IMS 4F6 possède la physique de l’IMS 4F avec électronique et informatique de l’IMS 6F. Il est équipé des options suivantes :

• Source Césium microfaisceau avec option KISOCMS
• Source Duosplasmatron (O2+, O-, Ar+) avec option IMPVAC
• Option DUO ACCEL/DECEL 6F
• Système d’amélioration du vide dans la chambre objet (IMPSAM)
• Dispositif de soufflage d’oxygène (OFM)
• Caméra CCD pour visualisation de l’échantillon (CSVS)
• Lentille à immersion à face avant commutable (MIL)
• Canon à électrons pour l’analyse d’échantillons isolants (NEG)
• Dispositif d’images ioniques par balayage avec système d’acquisition et traitement d’images (SID et DIP)
• Détecteur à anode résistive (FAST RAE)
• Post accélération des ions secondaires (POSTACC)
• Date d’acquisition : 1997

Préparation des échantillons

Les échantillons doivent être préparés par le demandeur.
Ils doivent être solides, propres, plans et avoir un bon état de surface.

La qualité des résultats obtenus dépend beaucoup de ces paramètres.

Les échantillons isolants doivent être métallisés à l’Au (50 à 100 nm).

Taille des échantillons :

• min : 3 mm2 ; max : Ø 25mm ;
• épaisseur max : 5 mm
• taille idéale : 7mm x 3mm

Planning de réservation