Centre de MicroCaractérisation Raimond Castaing




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MEB/FIB FEI HELIOS 600i - EDS

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Contacts

Claudie Josse

Présentation

L’Helios 600i (FEI) est un microscope à double faisceau combinant un canon à électron à émission de champ (FEG) et une colonne ionique à ions gallium pouvant débiter jusqu’à 65 nA de courant. Il équipé d’un spectromètre EDS-3D permettant de réaliser des cartographies d’élements chimiques en trois dimensions, d’un nanomanipulateur FEI EasyLift, d’un canon à neutralisation de charge pour les échantillons isolants, d’un plasma cleaner intégré, de 5 injecteurs de gaz et de 4 détecteurs électroniques et ioniques.

Avec ce nouveau microscope à double faisceau, il est possible d’observer la matière, de l’usiner et de créer des structures à l’échelle nanométrique.
Cet équipement permet également de préparer des lames minces pour la microscopie en transmission avec une précision et une rapidité accrues.
Grâce au logiciel de reconstructions 3D (Auto Slice and View) et à l’analyseur EDS/SDD-3D, il est possible de visualiser la matière en 3 dimensions.

Caractéristiques Techniques

  • Colonne ionique Tomahawh
  • Colonne électronique Elstar Haute résolution (FEG Schottky)
  • Détecteur d’électrons secondaires TLD (Through the Lens)
  • Détecteur d’électrons rétrodiffusés TLD-B
  • Détecteur d’électrons secondaires Everhart Thornley
  • Détecteur ICE (d’ions et d’électrons secondaires)
  • Nanomanipulateur FEI EasyLift
  • Injecteur de gaz pour dépôt de platine
  • Neutraliseur de charges
  • Plasma Cleaner intégré
  • CryoCleaner
  • Analyseur EDX Aztec Advanced (Oxford Instruments) avec détecteur SDD X-Max 80mm2 et module 3D
  • Logiciel de reconstruction 3D Auto Slice-and-View G3
  • Date d’acquisition : 2014

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Equipement : MEB/FIB FEI HELIOS 600i - EDS

La réservation est ouverte jusqu'au 15 01 2022 ; les jours de réservation sont les Lundi, Mardi, Mercredi, Jeudi, Vendredi .

- 9h-12h 14h-17h
Dimanche 17 octobre
Lundi 18 octobre
Mardi 19 octobre
Mercredi 20 octobre
Jeudi 21 octobre
Vendredi 22 octobre

Légende :
libre
occupé
fermeture